磁控溅射仪

• 钙钛矿&叠层&柔性太阳能电池

   这套系统能够完成在柔性带上连续镀膜(单层膜)。由溅射室、卷绕系统、矩形磁控靶及电源、样品加热系统等组成。

KURT热蒸发系统

• 钙钛矿太阳能电池&其他类型器件

   kurt热蒸发系统通过多位置坩埚系统来满足不同金属源的制备。同时，该系统采用双层源结构，也可用来生长有机材料。

慧宇热蒸发系统

• 钙钛矿太阳能电池&其他类型器件

  慧宇热蒸发系统通过多位置坩埚系统来满足不同金属源的制备。同时，该系统采用双腔体结构，将金属材料和有机材料的生长分开，减少互相之间的影响。